中国材料进展
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作者中包括
孝2
的文章
1
基底偏压对Zr-B-O-N薄膜结构及性能的影响
孟瑜1，宋忠孝2，王小艳1，钱旦2，刘明霞1，李晓华3
2022年第07期 [584－588][
摘要
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