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    作者中包括 孝2 的文章

1 基底偏压对Zr-B-O-N薄膜结构及性能的影响
孟瑜1,宋忠孝2,王小艳1,钱旦2,刘明霞1,李晓华3
2022年第07期 [584-588][摘要](1317)[pdf 9561KB](700)