中国材料进展
过刊查询页面
关键词中包括
diffusion barrier performance
的文章
1
Effect of Substrate Bias on Structure and Properties of Zr-B-O-N Thin Films
孟瑜1，宋忠孝2，王小艳1，钱旦2，刘明霞1，李晓华3
2022年第07期 [584－588][
Abstract
](
2208
)
[
pdf
9561KB]
(
1409
)